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Exhibición física de productos de litografía con fotomáscara de vidrio

El usuario diseña y envía los datos gráficos de la máscara, y el ingeniero completa la tecnología de procesamiento posterior. Dado que la preparación de datos gráficos es un paso clave en el procesamiento de máscaras, los usuarios deben verificar cuidadosamente los archivos de diseño enviados para garantizar la corrección de los gráficos.

Proceso de elaboración:

(1) Dibuje un archivo de diseño de retícula de máscara (formato GDS) que pueda ser reconocido por el dispositivo de generación
2) Use una máquina de litografía sin máscara para leer el archivo de diseño, realice una exposición sin contacto (longitud de onda de exposición de 405 nm) en la retícula en blanco con pegamento e ilumine el área de patrón requerida en la retícula para hacer la fotorresistencia en esta área. (generalmente pegamento positivo) sufre una reacción fotoquímica
3) Después de revelar y fijar, la fotoprotección en el área expuesta se disuelve y se cae, exponiendo la capa de cromo subyacente.
4) Use una solución de grabado de cromo para grabar en húmedo, grabe la capa de cromo expuesta para formar un área de transmisión de luz, y la capa de cromo protegida por la fotoprotección no se grabará, formando un área opaca. De esta manera, se forman en la retícula estructuras de patrones planos con diferentes transmitancias de luz.
5) Si es necesario, use métodos húmedos o secos para quitar la capa fotorresistente de la retícula y limpie la retícula.

Fotos de la exposición

Certificado:

http://es.calibplate-zhixing.com/